TY  - RPRT
TI  - Microwave Loss in Low-Temperature ICPCVD Silicon Nitride: Dependence on Precursor Ratio and RF Substrate Bias
AU  - H. Athreya
AU  - J. Cornelison
AU  - M. Mikhailov
AU  - R. J. H. van der Kolk
AU  - C. Chang
AU  - T. Cecil
AU  - M. N. Ali
AU  - J. A. Zebrowski
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2610.10767
ID  - 2610.10767
ER  -