TY  - RPRT
TI  - Numerical schemes for 1D capacitively coupled plasma fluid simulation
AU  - Yipei Chen
AU  - Ganghua Fan
AU  - Yuwei Fan
AU  - Haoran Guan
AU  - Kangxin Liu
AU  - Zhonghua Qiao
AU  - Yufeng Wei
AU  - Peiting You
AU  - Zhenyu Zou
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2610.39140
ID  - 2610.39140
ER  -